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超净间半导体光学平台
高精度气浮自平衡光学平台（DL-GJQF1系列）
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超净间半导体光学平台
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百级高精度气浮自平衡光学平台（DL-GJBQF1系列）
百级独立气囊非自平衡光学平台（DL-DLBQN系列）
百级橡胶垫隔振光学平台（DL-XJBPT系列）
固有频率
5Hz～7.5Hz
1Hz~1.7Hz
2Hz~3Hz
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空载 1～1.7Hz 满载 0.8Hz
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