三维组装位移台系列

分组	XYZ轴(水平)XYα轴XYθ轴Xαβ轴Xαθ轴αβθ轴
行程	XY轴±6.5mm，Z轴0-10mmXY轴±6.5mm，α轴±5°XY轴±6.5mm，θ轴粗调360°，微调±5°X轴±6.5mm，上轴±5，下轴±4X轴±6.5mm，α轴±5°，θ轴粗调360°，微调±5°上轴±5，下轴±4，θ轴粗调360°，微调±5°
轴的类型	XYZ轴（水平）XYα轴XYθ轴Xαβ轴Xαθ轴αβθ轴
驱动安装位置	左侧驱动右侧驱动中间驱动
行程/周（mm）	0.5X轴0.5XY轴0.5
最小读数	0.01mmXY轴0.01mm、α轴0.0088°XY轴0.01mm、θ轴0.0155°X轴0.01mm、αβ轴0.0088°X轴0.01mm,α轴0.0088°、θ轴0.0155°αβ轴0.0088°、θ轴0.0155°
直线度（μm）	X轴3XY轴3、Z轴5XY轴3
平行度（μm）	X轴30θ轴30XY轴30、Z轴60XY轴30Xθ轴30
移动平行度（μm）	X轴10XY轴10、Z轴15XY轴10
摆动中心高（mm）	α轴50β轴50
摆动中心偏差（mm）	α轴±0.04β轴±0.04
承载力（N）	49（5.0kg）39.2（4.0kg）