原子力显微镜 NTEGRA Prima
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规格编号
1010501001
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7天
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选型说明
| 扫描范围（µm） | 100×100×10、3×3×2.6@样品扫描/100×100×10、50×50×5@探针扫描 | 样品重量（g） | ≤100@样品扫描/≤300@探针扫描 |
| 样品尺寸（mm） | 直径≤40,厚度≤15@样品扫描/直径≤100,厚度≤15@探针扫描 | 样品台移动范围（mm） | 5×5 |
| 定位精度（μm） | 分辨率5/灵敏度2 | 非线性度，XY（带有闭环传感器） | ≤0.1%@样品扫描/≤0.15%@探针扫描 |
| 噪声水平，Z（RMS in 1000Hz） | 带传感器0.04nm（典型值），≤0.06nm；不带传感器0.03nm@样品扫描/带传感器0.06nm（典型值），≤0.07nm；不带传感器0.05nm@探针扫描 | 噪声水平，XY（RMS in 200Hz） | 带传感器0.2nm（典型值），≤0.3nm（XY 100μm）；不带传感器0.02nm（XY 100μm），0.001nm（XY 3μm）@样品扫描/带传感器0.1nm（典型值），≤0.2nm（XY 50μm）；不带传感器0.01nm（XY 50μm）@探针扫描 |
| 线性度评价误差（带传感器） | ±0.5%@样品扫描/±1.2%@探针扫描 | 光学分辨率（μm） | 1@样品扫描/3@探针扫描 |
| 光学视场（mm） | 4.5-0.4@样品扫描/2.0-0.4@探针扫描 | 连续变焦 | 是 |
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