Dimension Labs提供的95mm齐焦全平场金相显微物镜透过率曲线覆盖波段355-532nm、400-700nm以及400-1064nm。

 

一、选型指南

 

产品型号 DL-MMSOL
产品参数 波段范围(nm) 放大倍率(X) 数值孔径(NA) 工作距离(mm) 倍率选择 应用
DL-MMSOL-5x/0.15-95-PlnApo-NIR 400~1064 5 0.15 45

低倍物镜放大率 <10X

中倍物镜放大率10X~50X

高倍物镜放大率50X~100X

 

建议先从低倍物镜开始观察,

以获得良好的视场和亮度。根

据被观察物需要,再逐步在高

倍物镜下观察。

 

可见观察

红外观察

激光加工

 

 

 

可见观察:

(1)金属、树脂、印刷面等表面观察拍摄;

(2)微量流体分析用光学系统;

(3)以观察和分析细胞、微生物等为目的的光学系统。

 

激光加工:

(1)保护膜、有机薄膜等的剥离;

(2)金、铝等金属配线切割、下层图案的外露;

(3)FPD的各种缺陷修复;

(4)光掩模修复;

(5)标记、修剪、图像形成、局部退火、划线。

 

红外观察:实现可见光下做不到的非破坏性检查。

(1)液晶薄膜、硅基板等的厚度测量;

(2)MEMS内部的非破坏评价、3D安装评价;

(3)半导体封装(IC)的内部观察、晶圆键合空洞评价传感器;

(4)红外分光特性分析。

 

紫外观察:由于紫外光的短波长,物镜分辨率高,观察物体时

能够得到清晰的图像。

(1)及时发现硅片上光刻图像的缺陷;

(2)光谱应用。

DL-MMSOL-10x/0.3-95-PlnApo-NIR 10 0.3 34

DL-MMSOL-20x/0.3-95-PlnApo-NIR

20 0.3 31

DL-MMSOL-20x/0.45-95-PlnApo-NIR

20 0.45 20.2
DL-MMSOL-50x/0.45-95-PlnApo-NIR 50 0.45 20.06

DL-MMSOL-50x/0.65-95-PlnApo-NIR

50 0.65 9.41
DL-MMSOL-20x/0.42-95-PlnApo-NIR 20 0.42 20
DL-MMSOL-50x/0.55-95-PlnApo-NIR 50 0.55 13

DL-MMSOL-20x/0.60-95-PlnApo-NIR

20 0.6 9.5

DL-MMSOL-50x/0.67-95-PlnApo-NIR

50 0.67 10

DL-MMSOL-50x/0.75-95-PlnApo-NIR

50 0.75 4

DL-MMSOL-2x/0.055-95-PlnApo

400~700 2 0.055 33.72 可见观察

DL-MMSOL-5x/0.14-95-PlnApo

5 0.14 45.3

DL-MMSOL-10x/0.28-95-PlnApo

10 0.28 33.4

DL-MMSOL-20x/0.34-95-PlnApo

20 0.34 29.56
DL-MMSOL-50x/0.5-95-PlnApo 50 0.5 18.9
DL-MMSOL-100x/0.8-95-PlnApo 100 0.8 6
DL-MMSOL-20x/0.42-95-PlnApo-UV 355~532 20 0.42 17

可见观察

紫外观察

激光加工

DL-MMSOL-50x/0.65-95-PlnApo-UV 50 0.65 10

 

二、具体参数

 

400-1064nm波段:

 

产品型号 DL-MMSOL
产品参数 放大倍率(X) 数值孔径(NA) 工作距离(mm) 视场WF10×24(mm) 视场1/2 CCD(mm) 齐焦距离(mm) 波段范围(nm)

DL-MMSOL-50x/0.65-95-PlnApo-NIR

50

0.65

9.41

0.48

0.1×0.13

95

400-1064

DL-MMSOL-50x/0.45-95-PlnApo-NIR

50

0.45

20.06

0.48

0.1×0.13

95

400-1064

DL-MMSOL-20x/0.45-95-PlnApo-NIR

20

0.45

20.2

1.2

0.24×0.32

95

400-1064

DL-MMSOL-20x/0.3-95-PlnApo-NIR

20

0.3

31

1.2

0.24×0.32

95

400-1064

DL-MMSOL-10x/0.3-95-PlnApo-NIR

10

0.3

34

2.4

0.48×0.64

95

400-1064

DL-MMSOL-5x/0.15-95-PlnApo-NIR

5

0.15

45

4.8

0.96×1.28

95

400-1064

产品参数 放大倍率(X) 数值孔径(NA) 工作距离(mm) 实际视场 齐焦距离(mm) 波段范围(nm)
Ф24目镜 1"相机
DL-MMSOL-20x/0.42-95-PlnApo-NIR 20 0.42 20 1.2 0.48×0.64 95 400-1064
DL-MMSOL-50x/0.55-95-PlnApo-NIR 50 0.55 13
0.48
0.19×0.26 95 400-1064
DL-MMSOL-20x/0.60-95-PlnApo-NIR 20 0.60 9.5
1.2 0.48×0.64
95 400-1064
DL-MMSOL-50x/0.67-95-PlnApo-NIR 50 0.67 10
0.48 0.19×0.26 95 400-1064
DL-MMSOL-50x/0.75-95-PlnApo-NIR 50 0.75 4
0.48 0.19×0.26 95 400-1064

 

400-700nm波段:

 

产品型号 DL-MMSOL
产品参数 放大倍率(X) 数值孔径(NA) 工作距离(mm) 物方视场(mm) 像方视场(mm) 齐焦距离(mm) 波段范围(nm)
DL-MMSOL-100x/0.8-95-PlnApo 100 0.8 6 / / 95 400-700
DL-MMSOL-50x/0.5-95-PlnApo 50 0.5 18.9 0.5 25 95 400-700
DL-MMSOL-20x/0.34-95-PlnApo 20 0.34 29.56 1.25 25 95 400-700
DL-MMSOL-10x/0.28-95-PlnApo 10 0.28 33.4 2.5 25 95 400-700
DL-MMSOL-5x/0.14-95-PlnApo 5 0.14 45.3 5 25 95 400-700
DL-MMSOL-2x/0.055-95-PlnApo 2 0.055 33.72 12.5 25 95 400-700

 

355-532nm波段:

 

产品型号 DL-MMSOL
产品参数 放大倍率(X) 数值孔径(NA) 工作距离(mm) 实际视场 齐焦距离(mm) 波段范围(nm)
Ф24目镜 1"相机
DL-MMSOL-20x/0.42-95-PlnApo-UV 20 0.42 17 1.2 0.48×0.64 95 355-532

DL-MMSOL-50x/0.65-PlnApo-UV

50

0.65

10

0.48

0.19×0.26

95

355-532

 

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