光学平台的专业术语：
• 振动：通常被认为是噪声，可以分为三大类：地震(地面)振动、声振动和直接对工作面上的物体施加的力。
• 阻尼：指任何使固体内的振动衰减为零振幅的过程；它是真实系统里面抑制或隔离振动时一个非常重要的现象，因为它会将能量从振动转化为其他形式耗散；阻尼是隔振平台本身的振幅递减特性。
• 柔量：针对光学平台的振动响应而使用最为广泛的函数，柔量=位移/作用力，单位：m/N。
• 共振：两个振动频率相同的物体，其中一个发生振动时，另一个被引起振动，这种现象叫做共振。
隔振三要素:
• 被隔振的设备本身。
• 地基（地面）条件。
• 设备与地基之间的隔振台。
振源分析:
| 振源类型及频率/振幅表 （Table of source type and frequency/amplitude） |
||
| 类型（Type） | 频率（Frequency） | 振幅（Amplitude） |
| 空气压缩机（Air Compressors ） | 4 - 20 Hz | 10-3 in |
| 装卸设备（Handling Equipment） | 5 - 40 Hz | 10-3 in |
| 真空泵（Pumps） (补充液或非补充液)（Vacuum,comp or non-comp fluids)） | 5 - 25 Hz | 10-3 in |
| 建筑服务（Building Services） | 7 - 40 Hz | 10-4 in |
| 人行交通（Foot Traffic） | 0.5 - 6 Hz | 10-5 in |
| 声学(b)（Acoustics (B)） | 100 - 10000 Hz | 10-2 to 10-4 in |
| 气流（Air currents） | 实验室可能因阶级而异 Labs can Vary Depending on Class |
/ |
| 冲床（Punch Presses） | 高达20赫兹 Up to 20 Hz |
10-2 to 10-5 in |
| 变压器（Transformers） | 50 - 400 Hz | 10-4 to 10-5 in |
| 电梯（Elevators） | 高达40赫兹 Up to 40 Hz |
10-3 to 10-5 in |
| 建筑物运动（Building Motion） | 每米高46赫兹，水平 46 Hz per Meter of Height, Horizontal |
0.1 in |
| 建筑物的压力波（Building Pressure Waves） | 1 - 5 Hz | 10-5 in |
| 铁路（Railroada） | 5 - 20 Hz | ±0.15g |
| 公路交通（Highway Traffica） | 5 - 100 Hz | ±0.001g |
高精度气浮自平衡异形光学平台（DL-GJQF1）:
| 主要性能指标 | ||||||||||
| 载荷能力 | 最大1000kg | |||||||||
| 充气压力 | 最大0.6Mpa | |||||||||
| 固有频率 | 垂直方向：空载：1～1.7Hz 满载：0.8Hz | |||||||||
| 水平方向：空载：1.1～1.7Hz 满载：1.0Hz | ||||||||||
| 最大动挠度系数 | 1.1×10-3 | |||||||||
| 最大相对位移 | 0.22nm | |||||||||
| 台面平面度 | 0.10mm/m2 | |||||||||
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