光学平台的专业术语：

• 振动：通常被认为是噪声，可以分为三大类：地震(地面)振动、声振动和直接对工作面上的物体施加的力。

• 阻尼：指任何使固体内的振动衰减为零振幅的过程；它是真实系统里面抑制或隔离振动时一个非常重要的现象，因为它会将能量从振动转化为其他形式耗散；阻尼是隔振平台本身的振幅递减特性。

• 柔量：针对光学平台的振动响应而使用最为广泛的函数，柔量=位移/作用力，单位：m/N。

• 共振：两个振动频率相同的物体，其中一个发生振动时，另一个被引起振动，这种现象叫做共振。

隔振三要素:

• 被隔振的设备本身。

• 地基（地面）条件。

• 设备与地基之间的隔振台。

 

振源分析:

振源类型及频率/振幅表 （Table of source type and frequency/amplitude）
类型（Type）	频率（Frequency）	振幅（Amplitude）
空气压缩机（Air Compressors ）	4 - 20 Hz	10-2 in
装卸设备（Handling Equipment）	5 - 40 Hz	10-3 in
真空泵（Pumps） (补充液或非补充液)（Vacuum,comp or non-comp fluids)）	5 - 25 Hz	10-3 in
建筑服务（Building Services）	7 - 40 Hz	10-4 in
人行交通（Foot Traffic）	0.5 - 6 Hz	10-5 in
声学(b)（Acoustics (B)）	100 - 10000 Hz	10-2 to 10-4 in
气流（Air currents）	实验室可能因阶级而异 Labs can Vary Depending on Class	/
冲床（Punch Presses）	高达20赫兹 Up to 20 Hz	10-2 to 10-5 in
变压器（Transformers）	50 - 400 Hz	10-4 to 10-5 in
电梯（Elevators）	高达40赫兹 Up to 40 Hz	10-3 to 10-5 in
建筑物运动（Building Motion）	每米高46赫兹，水平 46 Hz per Meter of Height, Horizontal	0.1 in
建筑物的压力波（Building Pressure Waves）	1 - 5 Hz	10-5 in
铁路（Railroada）	5 - 20 Hz	±0.15g
公路交通（Highway Traffica）	5 - 100 Hz	±0.001g

 

预应力隔振光学平台:

主要性能指标
载荷能力：		最大800kg
充气压力：		最大0.6Mpa
固有频率：		5Hz
最大动挠度系数:		1.1×10-3
最大相对位移:		0.22nm
台面平面度:		0.10mm/m2